Du lingot, le substrat à l'épitaxie, chaque processus sont surveillés.
L'opération de mesure (pour des gaufrettes d'epi) inclut la mesure de gaufrette d'inspection et la mesure de gaufrette de production. Pour la gaufrette d'inspection, nous examine principalement la stabilité de l'équipement, ou pour ajuster la structure de gaufrette, l'inspection de qualité sera conduite chaque jour ou groupe ; La particule, la longueur d'onde, la résistance, la mobilité des porteuses et le Hall extérieurs sont mesurés, après celle, effectuent l'inspection visuelle sous le microscope, et alors nous les avons emballées au-dessous de la pièce 100 propre.
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