3 épaisseur épitaxiale 381±25µM de couche de la résistivité <0.018ΩCm Epi de gaufrette de silicium de pouce

3" épaisseur épitaxiale 381±25µm/résistivité de substrat de gaufrette de silicium <0>

Nos avantages d'un coup d'oeil

1. Équipement et équipement de test avancés de croissance d'épitaxie.

2. Offrez le plus de haute qualité avec la basse densité de défaut et la bonne aspérité.

3. Soutien et assistance technologique forts d'équipe de recherche de nos clients

La gaufrette épitaxiale de PAM-XIAMEN entretient des caractéristiques :

• Diamètres : 50mm, 75mm, 100mm, 125mm, 150mm

• Orientation de gaufrette : <100> <111>, <110>

• Épaisseur d'EPI : 4μm à 150μm

• Dopants : Arsenic, phosphore, bore

• Gammes typiques de résistivité

• 0,05 – 1 200 ohm-cm

• 3000 – 5 000 ohm-cm (couches intrinsèques)

3" ± épitaxial 25µm/résistivité de l'épaisseur 381 de substrat de gaufrette de silicium <0>

Quelle est gaufrette épitaxiale de silicium ?

Des gaufrettes d'epi de silicium ont été la première fois développées vers 1966, et ont réalisé l'acceptation commerciale par le début des années 1980. [5] méthodes pour élever la couche épitaxiale sur le silicium monocristallin ou d'autres gaufrettes incluent : divers types de déposition en phase vapeur (CVD) classifié en tant que CVD de pression atmosphérique (APCVD) ou déposition en phase vapeur organique en métal (MOCVD), aussi bien qu'épitaxie de poutre moléculaire (MBE). Deux méthodes « kerfless » (sans sawing abrasif) pour séparer la couche épitaxiale du substrat s'appellent « implant-se fendent » et « soulignez le décollage ». Une méthode applicable quand l'épicouche et le substrat sont le même matériel utilise l'implantation ionique pour déposer une couche mince d'atomes en cristal d'impureté et d'effort mécanique en résultant à la profondeur précise de l'épaisseur prévue de couche d'epi. L'effort localisé induit fournissent un chemin commandé pour la propagation des fissures dans l'étape suivante de décolleté. [7] le procédé sec de décollage d'effort applicable quand l'épicouche et le substrat conviennent les matériaux différents, une fente commandée est conduite par un changement de température à l'interface d'epi/gaufrette purement par les contraintes thermiques dues à la disparité dans la dilatation thermique entre la couche d'epi et le substrat, sans nécessité n'importe quelle force ou outil mécanique externe pour faciliter la propagation des fissures. On a signalé que ce processus rapporte le décolleté plat atomique simple, réduisant le besoin de décollage de courrier polissant, et accordant à des réutilisations multiples du substrat jusqu'à 10 fois

La gaufrette épitaxiale de silicium est une couche de silicium de monocristal déposé sur une gaufrette de silicium de monocristal (note : il est disponible d'élever une couche d'une poly couche cristalline de silicium sur séparément fortement enduite une gaufrette de silicium cristalline, mais elle a besoin de la couche de tampon (telle que l'oxyde ou le poly-SI) entre le substrat en vrac SI et la couche épitaxiale supérieure)

La couche épitaxiale peut être enduite, pendant qu'elle est déposée, à la concentration de dopage précise tout en continuant la structure cristalline du substrat.

: <1 ohm-cm="" up="" to="" 150="" ohm-cm="">

Épaisseur d'épicouche : < 1="" um="" up="" to="" 150="" um="">

Structure : N/N+, N-/N/N+, N/P/N+, N/N+/P-, N/P/P+, P/P+, P-/P/P+.

Application de gaufrette : Digital, linéaire, puissance, MOS, dispositifs de BiCMOS.

Au sujet de nous

Amélioration continue, niveau plus de haute qualité de recherche. Notre personnel de vente fortement consacré n'a jamais lancé à partir d'aller que mille supplémentaire répondre et dépasser aux attentes du client. Nous ne traitons nos clients avec la mêmes fidélité et dévotion, aucune matière la taille de leurs affaires ou industrie.

Nous avons un atelier propre et rangé, large et une équipe de production et de développement avec une expérience riche, fournissant le soutien important pour vos besoins de R&D et de production ! Tous nos produits sont conformes aux normes de qualité internationales et sont considérablement appréciés sur un grand choix de différents marchés dans le monde entier. Si vous êtes intéressé par un quelconque de nos produits ou voudriez discuter une commande à façon, sentez-vous svp libre pour nous contacter. Nous attendons avec intérêt de former des relations d'affaires réussies avec de nouveaux clients autour du monde dans un avenir proche.